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微表處理工藝是什么?

幫考網(wǎng)校2020-09-18 18:23:40
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微表處理工藝是一種制造微型機(jī)械元件的工藝,通常用于制造微型機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)。該工藝?yán)梦㈦娮蛹庸ぜ夹g(shù)和微機(jī)械加工技術(shù),將微米級(jí)的材料加工成具有特定形狀和功能的微型元件,如微機(jī)械傳感器、微機(jī)械執(zhí)行器、微流體芯片等。微表處理工藝主要包括光刻、薄膜沉積、離子注入、濕法腐蝕、干法腐蝕、微加工等技術(shù)。這些技術(shù)可以通過不同的組合和序列,實(shí)現(xiàn)不同形狀和功能的微型元件的制造。
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